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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：HCVP-2
  • 產(chǎn)品廠商：華測(cè)
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置，接下來(lái)通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊,號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)。
詳情介紹：

晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

真空-溫度協(xié)同控制
真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣，30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6 torr級(jí)真空度，支持惰性氣體氛圍切換；
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。
精細(xì)測(cè)量能力
抗干擾設(shè)計(jì)：真空屏蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級(jí)微弱電流與μΩ級(jí)電阻測(cè)量；
多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴(kuò)展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試。

產(chǎn)品參數(shù)

腔體
樣品臺(tái)尺寸：2英寸  
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸
真空度：10^-6 torr
探針臂接口：至多6個(gè)探針臂接口
其它接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮 / 液氦 
控制方式：開(kāi)循環(huán)手動(dòng)  
溫度范圍：77K ~ 450K 
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素 / 500萬(wàn)像素 / 1200萬(wàn)像素
探針座
X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
探針夾具
線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚(yú)夾 / 接線端子/ 射頻接口
探針
射頻支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅
真空組件 分子泵組 / 機(jī)械泵
冷源組件 50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機(jī)
外形重量 730mm×750mm×1265mm（長(zhǎng)寬高） 約100kg
防震桌參數(shù)


應(yīng)用領(lǐng)域

1. 研發(fā)階段：材料與器件的極限性能探索
在新型半導(dǎo)體材料（如鈣鈦礦、氧化鎵）的研發(fā)中，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料在真空、高溫或低溫條件下的載流子遷移率、擊穿電壓等參數(shù)，為材料優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。
2. 失效分析：準(zhǔn)確定位缺陷根源
通過(guò)微區(qū)探針掃描技術(shù)，配合SEM或FIB聯(lián)用，可對(duì)芯片的短路、漏電等故障點(diǎn)進(jìn)行亞微米級(jí)定位，快速鎖定制造工藝中的缺陷環(huán)節(jié)。
3. 量產(chǎn)前驗(yàn)證：提升良率與可靠性
在晶圓出廠前，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可對(duì)成千上萬(wàn)個(gè)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)化批量測(cè)試（如接觸電阻、絕緣性能），結(jié)合AI算法實(shí)時(shí)分析數(shù)據(jù)，提前篩除次品，降低下游封測(cè)成本。

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